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半导体行业常规曝光光源种类
来源:江苏沃泽光电科技有限公司 | 作者:江苏沃泽光电科技有限公司 | 发布时间: 2020-08-14 | 5432 次浏览 | 分享到:
半导体行业常规曝光光源种类




半导体行业常规曝光光源产品
1） 超高压短弧汞氙灯（简称汞氙灯）是在高压汞蒸气中产生放电电弧发光的短弧灯，此灯管具有高紫外线辐射、多线光谱曲线在紫外区有较高的辐射能量的点光源，适用于PCB或LCD全、半自动曝光系统以及半导体光刻等设备。一般用于平行曝光系统。




汞氙灯的基本结构




汞氙灯的光谱特性




WOZE常规曝光用汞氙灯产品